Защита диссертации: Корепин Иван Николаевич
Диссертационный совет: Д 212.227.01
Специальность: 05.11.07 - Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы
Дата размещения диссертации: 09.04.2015
Дата защиты: 16.06.2015
Название диссертации: Синтез голограмм-проекторов сфокусированного изображения для фотолитографии
Файлы: